๋ณธ๋ฌธ ๋ฐ”๋กœ๊ฐ€๊ธฐ
์ฃผ์‹์ž๋ฃŒ

๋ฉ”์นด๋กœ ์ฃผ๊ฐ€, ๋ฐ˜๋„์ฒด์šฉ ๊ณต์ • 'ํžˆํ„ฐ๋ธ”๋Ÿญ' ์ œ์กฐ 2023๋…„ ์‹ค์  '์ ์ž์ „ํ™˜'

by misoQueen 2024. 4. 14.

๋ฉ”์นด๋กœ(241770) ์ฝ”์Šค๋‹ฅ, ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ฐ ๊ด€๋ จ์žฅ๋น„.

์–ด๋–ค ๊ธฐ์—…์ธ๊ฐ€?

(์ฃผ)๋ฉ”์นด๋กœ๋Š” ์ง€๋‚œ 15๋…„๊ฐ„ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ถ€ํ’ˆ์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ ์ง€์†์ ์ธ ๊ธฐ์ˆ ๊ฐœ๋ฐœ๊ณผ ์—ฐ๊ตฌ๋กœ ๊ณ ๊ฐ์— ์ตœ์ ํ™”๋œ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์žฅ๋น„์šฉ ๋ถ€ํ’ˆ์„ ์ƒ์‚ฐํ•˜์—ฌ ์˜ˆ๋น„ ๋ถ€ํ’ˆ ๋ถ„์•ผ์—์„œ ๊ธฐ์ˆ ๋ ฅ์„ ์ธ์ •๋ฐ›๋Š” Heater Block ๋ฐ ํ™”ํ•™ ์ „๊ตฌ์ฒด(Chemical Precursor), ๋ฒˆ๋„์ฒด์ œ์กฐ์žฅ๋น„(LCD ์จ์…‰ํ„ฐ, ์†Œ์Šค, ์Šคํฌ๋Ÿฌ๋ฒ„) ๋ฐ˜๋„์ฒด์žฅ์น˜์†Œ๋ชจํ’ˆ์„ ์ „๋ฌธ์œผ๋กœ ์ œ์กฐํ•˜๋Š” ์ค‘์†Œ๊ธฐ์—…์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

 

 

์ฃผ์š” ์ƒ์‚ฐ ์ œํ’ˆ์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด์šฉ ๊ณต์ • ํžˆํŠธ๋ธ”๋ก(Heater Block)๊ณผ LSD์šฉ Susceptor, Ground strap์ด ์žˆ์œผ๋ฉฐ MOCVD, ALD ๊ณต์ •์šฉ ๋ฐ•๋ง‰ ์ฆ์ฐฉ์— ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ํ™”ํ•™ ์ „๊ตฌ์ฒด๋ฅผ ์ƒ์‚ฐํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ถ•์ ๋œ ์ฒจ๋‹จ๊ธฐ์ˆ ๋ ฅ๊ณผ ๋…ธํ•˜์šฐ๋กœ ๋ถˆ๋Ÿ‰๋ฅ  ์ œ๋กœ(Zero)๋ฅผ ๋ชฉํ‘œ๋กœ ์ž„์ง์›์ด ์ตœ์„ ์„ ๋‹คํ•˜๊ณ  ๊ธฐ์ˆ  ๊ฐœ๋ฐœ๊ณผ ์ธ์žฌ์œก์„ฑ, ๊ฒฝ์˜ํ˜์‹ ์„ ํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

 

MECARO
๋ฐ˜๋„์ฒด์†Œ์ž ์ œ์กฐ
Heater-Block
ํžˆํŠธ๋ธ”๋ก

โ€ป ํžˆํŠธ๋ธ”๋ก(HEATER BLOCK).

ํžˆํŠธ๋ธ”๋ก์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ •์˜ WAFER๋‚˜ LCD๊ณต์ •์˜ GLASS๋ฅผ ์›ํ•˜๋Š” ์˜จ๋„๋กœ ๊ท ์ผํ•˜๊ฒŒ HEATINGํ•˜๊ณ  ๊ณต์ •์กฐ๊ฑด์„ ์œ„ํ•œ ๋ถˆํ™œ์„ฑ ๊ฐ€์Šค ์‹œ์Šคํ…œ(PURGE GAS SYSTEM)๊ณผ ์›จ์ดํผ(WAFER)๋ฅผ CHUCKING ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ SYSTEM์ด ์ œ๊ณต๋˜์–ด ์ตœ์ƒ์˜ ๊ณต์ • ์กฐ๊ฑด์„ ์œ ์ง€ํ•˜๋Š” ์ œํ’ˆ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

 

 

๋ฉ”์นด๋กœ ๋ณด์œ  ๊ธฐ์ˆ .

โ–ฒ ALD/CVD ๊ณต์ • ๋ฐ ์žฅ๋น„ ์„ค๊ณ„๊ธฐ์ˆ .

์ด ๊ธฐ์ˆ ์€ ๋‹ค์–‘ํ•œ ๊ณ ํ’ˆ์งˆ์˜ ๊ธˆ์† ๋ฐ ์„ธ๋ผ๋ฏน ์†Œ์žฌ๋Š” ๋ฐ˜๋„์ฒด, LCD, LED, ์†”๋ผ์…€ ๋“ฑ์˜ ์ „์ž์‚ฐ์—…๊ณผ ๋‚˜๋…ธ ์†Œ์žฌ์‚ฐ์—… ๋“œ์˜ ๋‹ค์–‘ํ•œ ์‘์šฉ๋ถ„์•ผ์— ์ ์šฉ์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

โ–ฒ ๊ธˆ์† ๋ฐ ์„ธ๋ผ๋ฏน ์ฝ”ํŒ…๊ธฐ์ˆ .

๊ณ ๊ฐ์˜ ์š”์ฒญ์— ๋”ฐ๋ผ์„œ ๋‹ค์–‘ํ•œ ๊ธˆ์† ๋ฐ ์„ธ๋ผ๋ฏน ์†Œ์žฌ์˜ ์ฝ”ํŒ… ๋ฐ ์ฝ”ํŒ… ๊ธฐ์ˆ ์˜ ๊ณต๊ธ‰์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

โ–ฒ ๊ณ ํ’ˆ์งˆ ์šฉ์ ‘๊ธฐ์ˆ .

์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋Š„ ์Šคํ…Œ์ธ๋ ˆ์Šค ์Šคํ‹ธ, ๋™, ๋‹ˆ์ผˆ ๋“ฑ์˜ ์šฉ์ ‘๊ธฐ์ˆ ๋กœ ๋ฐ˜๋„์ฒด LCD ๊ณต์ •์šฉ ํžˆํ„ฐ๋ธ”๋Ÿญ ๋“ฑ์˜ ์šฉ์ ‘์— ์ ์šฉ๋˜๋Š” ๊ธฐ์ˆ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

 

๋ณด์œ -๊ธฐ์ˆ 
๋ฉ”์นด๋กœ ๋ณด์œ  ๊ธฐ์ˆ 

โ–ฒ ์ •๋ฐ€๊ฐ€๊ณต๊ธฐ์ˆ .

์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋Š„ ๊ฐ™์€ ๊ธˆ์†์˜ 1/1000mm ์ˆ˜์ค€์˜ ์ •๋ฐ€๊ฐ€๊ณต๊ธฐ์ˆ ์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด์™€ ์ „์ž์‚ฐ์—… ์ „๋ฐ˜์— ์ ์šฉ๋˜๋Š” ๋ถ€ํ’ˆ ๋ฐ ์žฅ๋น„์‚ฐ์—…์— ์ค‘์šฉํ•œ ๊ธฐ์ˆ ๋กœ์„œ ๊ธˆ์† ๋ฐ ์„ธ๋ผ๋ฏน ์†Œ์žฌ์˜ ์ •๋ฐ€๊ฐ€๊ณต์„ ํ†ตํ•˜์—ฌ ๊ณ ํ’ˆ์งˆ์˜ ๊ธฐ๋Šฅ์„ฑ ๋ถ€ํ’ˆ๊ณผ ์žฅ๋น„๋ฅผ ๊ตฌ์„ฑํ•˜๋Š” ๊ธฐ์ˆ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

โ–ฒ ํ‘œ๋ฉด์ฒ˜๋ฆฌ๊ธฐ์ˆ .

ํžˆํ„ฐ๋ธ”๋Ÿญ ํ‘œ๋ฉด AlF coating ๊ธฐ์ˆ ๋กœ ํžˆํ„ฐ ํ‘œ๋ฉด์— NF3 Plasma gas๋ฅผ ์ด์šฉํ•˜์—ฌ ์ฝ”ํŒ…์ฒ˜๋ฆฌ๋Š” ๊ธฐ์ˆ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

โ–ฒ ๊ธˆ์† ํžˆํ„ฐ ์ œ์กฐ๊ธฐ์ˆ .

์ •๋ฐ€๊ฐ€๊ณต๊ธฐ์ˆ ๊ณผ ๊ณ ํ’ˆ์งˆ ์šฉ์ ‘๊ธฐ์ˆ , ์„ค๊ณ„๊ธฐ์ˆ , ํ‘œ๋ฉด์ฒ˜๋ฆฌ๊ธฐ์ˆ  ๋“ฑ์˜ ์š”์†Œ๊ฐ€ ์กฐํ•ฉ๋˜์–ด์•ผ ๊ณ ํ’ˆ์งˆ์˜ ์„ฑ๋Šฅ์ด ํ™•๋ณด๋œ ๊ธฐ๋Šฅ์„ฑ ๋ถ€ํ’ˆ์„ ์ œ์กฐํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๊ธฐ์ˆ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

 

์ผ-๋ด‰-์ฐจํŠธ
๋ชฉํ‘œ๊ฐ€ ์ผ ๋ด‰ ์ฐจํŠธ

2023๋…„ ์‹ค์ ๋ฐœํ‘œ(์ ์ž์ „ํ™˜).

๋ฉ”์นด๋กœ๋Š” ์ง€๋‚œ 2์›” 14์ผ 2023๋…„๋„ ์‹ค์ ์„ ๊ฑฐ๋ž˜์†Œ ๊ณต์‹œ๋ฅผ ํ†ตํ•ด์„œ ๋ฐœํ‘œํ–ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์—ฐ๊ฒฐ๊ธฐ์ค€์œผ๋กœ ๋งค์ถœ์•ก์€ 24.5% ๊ฐ์†Œํ–ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์˜์—…์ด์ต์€ 110์–ต์›์ด ๊ฐ์†Œํ•ด ์ ์ž๋กœ ๋Œ์•„ ์„ฐ์œผ๋ฉฐ ๋‹น๊ธฐ์ˆœ์ด์ต๋„ ์ ์ž์ „ํ™˜ํ–ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ ์ž์ „ํ™˜ ์ฃผ์š” ์›์ธ์€ ์—…ํ™ฉ ๋ถ€์ง„์— ๋”ฐ๋ฅธ ๋งค์ถœ์•ก ๋ฐ ์†์ต ๊ฐ์†Œ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

 

 

์ฃผ๊ฐ€ ์ „๋ง ๋ฐ ๋ชฉํ‘œ๊ฐ€.

์ตœ๊ทผ ์ƒํ•œ๊ฐ€๋ฅผ ๊ธฐ๋กํ•˜๋Š” ์—…์ฒด๋“ค์˜ ํŒจํ„ด์„ ๋ณด๋ฉด 2023๋…„๋„ ์‹ค์ ์ด ์ ์ž๋กœ ์ „ํ™˜๋œ ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ์ƒ๋‹น์ˆ˜์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ƒํ•œ๊ฐ€ ์ด์œ ๋„ ํŠน๋ณ„ํ•œ ํ˜ธ์žฌ๋‚˜ ๊ณต์‹œ๋„ ์—†๋Š” ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ๋งŽ์€๋ฐ ์ฃผ๋กœ ์ฃผ๊ฐ€๊ฐ€ ๋ฐ”๋‹ฅ๊ถŒ์—์„œ ์ƒํ•œ๊ฐ€๋ฅผ ๊ธฐ๋กํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ฃผ์ฒด ์„ธ๋ ฅ์ด ๋ฐ”๋‹ฅ์—์„œ ํƒˆ์ถœํ•˜๋Š” ๊ตฌ์‹ค๋กœ ์ƒํ•œ๊ฐ€๋ฅผ ๋„์šฐ๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ณด์ด๋ฏ€๋กœ ๋งค๋งค์— ์ฃผ์˜๊ฐ€ ํ•„์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋‹จ๊ธฐ ๋ชฉํ‘œ๊ฐ€๋กœ 11,580์›์—์„œ 12,500์›๊นŒ์ง€๋กœ ๋ณด๊ณ  ๋‹จ๊ธฐ๋งค๋งค๋กœ ๋Œ€์‘ํ•˜๊ณ  ๊ด€๋งํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ์ข‹๊ฒ ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

๋Œ“๊ธ€


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